关 键 字: 全自动探针台,半自动探针台,射频探针台,真空探针台 | |
产品规格: 1500(长)*1700(宽)*1100(高) | |
所属行业: 测量探头/附件 | 产品包装: 木箱 |
供货数量: | 产品报价: |
发布时间: 2023-03-30 | 有 效 期: 365 |
量产型半自动/全自动探针台 型号 SA-6/SA-8/SA-12 外形 1500(长)*1700(宽)*1100(高) 重量 1700kg 电力需求/功率 220VAC±10V/50Hz/2.2KW 规格参数 能够测试的晶圆直径 6,”8”,12” 晶圆厚度 300≤T≤1000um(标准)??300≧T(薄片机型) 晶圆厚度偏差? 50um? Index time 300ms(标准速度,?die尺寸?10mm?,?包括Z上下0.3mm移动的时间) Chuck?具备5轴移动机构? (X/Y/Z/theta/F) X-Y轴行程? 380mm,?*高速度300mm/s,?分辨率0.1um? XY全行程机械定位精度 ±2um(环境温度在±1°以内波动时) XY*大速度 300mm/s Chuck平面度 ≤5?um Z轴行程 37mm,探针分离高度0.3mm,速度30毫秒/0.3mm? Z轴移动解析度 0.1um Z轴定位精度 ±2um Theta?轴 ±5°/0.0001° 光栅尺 0.1um光栅尺? 预对位平台 光学原理检测,?平边或者notch?±1°定位精度? 晶圆机械手 陶瓷机械手,cassette?*1 晶圆装载单元 一个升降单元,预对位单元,晶圆传输子单元以及他们的接口 自动对位系统 自动水平扫描、自动*测试点定位、自动测试中心定位 自动上下片系统 料盒保护、晶圆定位边预对准 **对位单元 pattern?matching 位移传感器 采用静电容传感器?,?分辨率?2um?(option) 照明 同轴卤素灯照明或LED光源 视场 低倍情况:4.9*3.6mm?中倍情况:1*0.72mm?高倍情况:0.49*0.36mm PC配置 I5CPU,4G内存,128G固态硬盘等 LCD?显示器 对位显示为黑白,其他显示为彩色,中文 键盘 单元大小?15*15mm,?46?字母数字 报警器(三色灯) 红,黄,绿 操作场地要求 2200mmX2200mm 操作界面 Windows中文操作界面,中文MAPING动态显示? 标记 上下标记?,标记可以实时或者离线标记,标记耗时15~300ms,采用ink或者Laser? 可以采用的cassette形式? FOUP?12/8/6”(13或者25片);light?FOUP?12/8/6”(13或者25片),12/8/6”?open?cassette? 可选附件 自动磨针台 可以兼容高频测试头 晶圆ID?识别功能 可以匹配自动晶圆盒取放设备(AGV?or?OHT)? 直接和晶圆传输控制电脑或者服务器通讯 FOUP(front?open?unified?Pod)有别于普通open?cassette?,?带有洁净气体单元(mini?environment),可以在晶圆传输过程保持洁净在Class100洁净室里面,探针台内部可以达到Class?1“主体包括:控制盒,TTL,RS232,GBIP测试机接口 全自动探针台特点 *高的测试精度和*快测试速度 自动alignment/找晶圆中心/测量diesize 支持单点测试和连续测试 功能丰富的测试软件 便捷的仪器接入 可升级自动wafer厚度测量和ID读卡http://semishare.qiugouxinxi.net/
探针台
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